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Der Sievers UPW Bor-Analysator wurde für parts per trillion-Messungen von Bor in Halbleiter- und Monitor-Anwendungen entwickelt.

Sievers UPW Bor-Analysator

Der Sievers UPW (Ultrapure Water; Ultrareinwasser)-Bor-Analysator verfügt über eine Nachweisgrenze von 15 parts per trillion Bor und kann bis zu 10 Proben pro Stunde verarbeiten, so dass kontinuierliche Bor-Überwachung in Ultrareinwasser im Bereich von Halbleiter- und Mikroelektronik-Anwendungen bezahlbar und einfach wird. Die Kosten für den Sievers Bor-Analysator erhöhen im Gegenzug die Sicherheit kontinuierlicher Überwachung der parts per trillion-Sensitivität der ICP/MS. Dies gewährleistet das Einhalten der Bor-Spezifikationen für Primär- und Polish-Kreislauf und bietet Betriebsleitern ein Werkzeug, das gegen Prozessstörungen und sich schnell ändernde Bor-Konzentrationen schützt, die durch ICP/MS oder andere Laboranalyseverfahren undetektiert bleiben würden.

Als echtes Plug-and-Play-Bor-Messgerät kann der Sievers Bor-Analysator in weniger als einer Stunde installiert werden, für die Bedienung ist kein sachkundiger oder geschulter Anwender erforderlich und er bietet Sensitivität und Genauigkeit von ICP-MS oder Online-Ionenchromatographie. Ein eingebauter Multiplexer ermöglicht sogar die Überwachung von bis zu vier Probenströmen mit individuell veränderbaren Einstellungen für jeden Strom.

Halbleiter-, Mikroelektronik- und Flachbildschirm-Hersteller verwenden den Sievers UPW Bor-Analysator:

  • Am Ausgang primärer Gemischtharzbetten
  • Am Ausgang von Polish-Harzen
  • Am Ausgang von Elektrodeionisierungseinheiten
  • Für Regenerierungsprozesse

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